日本原裝 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵UTM-MI系列 UTM1200A/UTM1600A /UTM2300A /UTM3400A 泵體和控制器一體化
渦輪分子泵
UTM-MI系列
UTM-MI
UTM1200A
UTM1600A
UTM2300A
UTM3400A
帶有使用磁力軸承的集成控制器的渦輪分子泵。
通過(guò)集成泵體和控制器,實(shí)現(xiàn)了布線和空間的節(jié)省。特征
泵體和控制器一體化,
省去了泵體和控制器之間繁瑣的接線工作。自由安裝方向
由于安裝方向沒(méi)有限制,因此設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度增加。產(chǎn)品陣容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。
適用于輕工藝的廣域高流量設(shè)計(jì)
泵轉(zhuǎn)速可在25%至100%范圍內(nèi)變化,腔室壓力可調(diào)節(jié)。高耐用性和安全性
通過(guò)了各種安全確認(rèn)測(cè)試,包括大氣進(jìn)入測(cè)試和著陸測(cè)試。
目的
各種設(shè)備的真空主排氣系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 氣相沉積設(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等
- 研發(fā)設(shè)備不產(chǎn)生副反應(yīng)產(chǎn)物的輕工藝主排氣系統(tǒng)
更換配備油擴(kuò)散泵的設(shè)備
其他一般高真空排氣應(yīng)用
規(guī)格
型號(hào) | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
進(jìn)氣口 | VG150 | ISO160F | VG200 | VG250 | ISO200F | ISO250F | VG250 | ISO250F | VG300 | VG350 | ISO320F | |
排氣口 | KF40 | |||||||||||
極限壓力*1 | 10 -7帕 | |||||||||||
排氣速度*2*3 | N2 | 1030升/秒 | 1400升/秒 | 2100升/秒 | 3200升/秒 | |||||||
Ar | 980升/秒 | 1330升/秒 | 2000升/秒 | 3100升/秒 | ||||||||
H2 | 660 升/秒 | 750升/秒 | 1380 升/秒 | 2100升/秒 | ||||||||
壓縮率 | N2 | 2× 108 | 1×10 8個(gè)以上 | 1×10 9個(gè)以上 | ||||||||
He | 7× 103 | 5× 103 | 1×10 5 | |||||||||
H2 | 8× 102 | 9× 102 | 6× 103 | |||||||||
最大入口壓力*4 | 26帕 | 4.5帕 | 7帕 | |||||||||
最大排氣口壓力*4 | 266 帕 | 200帕 | 270帕 | |||||||||
轉(zhuǎn)數(shù) | 37200 分鐘-1 | 33700 分鐘-1 | 27600 分鐘-1 | |||||||||
變速功能 | 運(yùn)行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之間變化 。(設(shè)置以 0.1% 為增量) | |||||||||||
啟動(dòng)時(shí)間 | 8分鐘內(nèi) | 9分鐘內(nèi) | 16分鐘內(nèi) | |||||||||
安裝方向 | 可全方位安裝 | |||||||||||
表面處理*5 | 無(wú) | |||||||||||
外部控制 | 遠(yuǎn)程接口 | D-sub 25 針切刀 觸點(diǎn)輸入/輸出 | D-sub 37 針切刀 觸點(diǎn)輸入/輸出 | |||||||||
串行接口 | RS232C/RS485專用圓形連接器 | D-sub9針孔R(shí)S232C/RS485 | ||||||||||
控制器 | 配置 | 與泵體一體化(內(nèi)置于底部) | ||||||||||
電源 | 單相AC200~240V±10%(50/60Hz±2Hz) | |||||||||||
最大所需功率 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||||||||
冷卻方式 | 水冷 | |||||||||||
冷卻水*6 | 流量 | 3~4升/分鐘 | ||||||||||
水壓力 | 0.2~0.4MPaG | |||||||||||
噪音 | 57分貝(A) | 60分貝(A) | ||||||||||
質(zhì)量 | 43公斤 | 41公斤 | 56公斤 | 94公斤 | ||||||||
推薦輔助泵*7 | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||||||||
兼容標(biāo)準(zhǔn) | CE 、TUV | |||||||||||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 進(jìn)氣口 O 型圈(僅限 VG)、排氣口防塵蓋 、遙控連接器 、使用說(shuō)明書(CD-ROM) | |||||||||||
選定規(guī)格 | 交流電纜 | AC連接器/AC電纜(5m/10m/15m/20m) | ||||||||||
固定泵的專用螺栓 | M10/M12 | |||||||||||
固定泵需要專用螺栓嗎? | 必需品(M10)*8 | 不需要 *8 | ||||||||||
可選配件 | 氣口適配器:KF10 |
*2 不含保護(hù)網(wǎng)的值
*3 UTM2300A和UTM3400A為計(jì)算值。
*4 最大進(jìn)氣口壓力和最大排氣口壓力條件不能同時(shí)滿足
*5 請(qǐng)勿流通反應(yīng)性氣體或腐蝕性氣體
*6 無(wú)結(jié)露
*7 吸力 30SCCM 時(shí)
*8 螺栓強(qiáng)度、固定方法等條件多種多樣 外形尺寸 (mm) 注)排氣口、氣體吹掃口 詳細(xì)情況請(qǐng)參照式樣書。A B C D E UTM1200A VG150 235 439 218 - 285 ISO160F 225 442 218 - 285 UTM1600A VG200 300 374 218 - 285 ISO200F 285 374 218 - 285 VG250 350 374 218 - 285 ISO250F 335 374 218 - 285 UTM2300A VG250 350 376 233 245 310 ISO250F 335 376 233 245 310 UTM3400A VG300 400 462 233 245 360 VG350 450 462 233 245 360 ISO320F 425 467 233 245 360