日本走空運 ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM-B系列 UTM70B/UTM300B 自由安裝方向
2024-07-22 14:34:52
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渦輪分子泵
UTM-B系列
UTM-B
UTM70B
UTM300B
使用陶瓷球軸承的復(fù)合葉片式渦輪分子泵 特征 目的。
通過集成控制器和泵實現(xiàn)空間節(jié)省。優(yōu)異的高背壓特性還使得輔助泵的小型化成為可能。自由安裝方向由于安裝方向沒有限制，因此設(shè)備設(shè)計的自由度增加。配備車載控制器控制器安裝在渦輪本體上，可有效減少布線并縮小排氣系統(tǒng)的尺寸。高壓縮比和高排氣壓力高壓縮比允許在高背壓下運行，從而允許使用更小的輔助泵。三種類型的法蘭可供選擇三種類型的進氣法蘭可供選擇：VG、ICF 和 ISO-K。該設(shè)計旨在最大限度地減少碳氫化合物的回流，不僅在清潔真空操作期間，而且在泵停止時也是如此。分析設(shè)備、研發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等主要排氣系統(tǒng)蒸發(fā)設(shè)備
、濺射設(shè)備等主排氣系統(tǒng)H2 和 He 等輕氣體的主排氣系統(tǒng)規(guī)格
型號 UTM70B UTM300B 泵 冷卻方式 自然風(fēng)冷 強制風(fēng)冷 自然風(fēng)冷 強制風(fēng)冷 法蘭直徑 進氣口*1 VG65 、ICF114、ISO063-KVG100 、ICF152、ISO100-K排氣口 KF16 KF16 排氣速度
（無防護網(wǎng)）N2 70升/秒 280升/秒 He 60升/秒 270升/秒 H2 49 升/秒 220升/秒 極限壓力
*2烘烤后 - *3 10-8帕 - *3 10-8帕 烘烤前 10 -6帕 10 -6帕 10 -6帕 最大壓縮比 N2 : >1×10 9 , He : 4×10 7 , H2 : 4×10 5 N2 : >1×10 9 , He : 7×10 6 , H2 : 1×10 5 最大入口壓力
*4、*5、*6N2 0.43帕 1.1帕 0.06帕 0.7帕 最大排氣口壓力
*4、*5、*7N2 300帕 900帕 100帕 1000帕 連續(xù)運行最大流量
*8
無氣體吹掃N2 15sccm*9 40sccm*9 10sccm*10 100sccm*10
無氣體吹掃Ar - 10sccm*9 - 30sccm*10
帶氣體吹掃- 15sccm*9 - 40sccm*10 推薦輔助泵
（吸力 10SCCM 時）*1160L/分鐘以上 120L/min以上 質(zhì)量 VG：3.3公斤 ，ISF：3.0公斤，ISO：5.0公斤6.0公斤/9.0公斤 6.3公斤 / 9.3公斤 轉(zhuǎn)數(shù) 87000轉(zhuǎn)/分 60000轉(zhuǎn)/分 啟動時間（可達80%）
（DC24V，背壓5Pa以下）1.7分鐘 3.5分鐘 表面處理*12 無 安裝方向 每個方向 噪音*13 48dB(A)以下 50dB(A)以下 電源規(guī)格 輸入功率 DC24V±5% ，120WDC24V±5%，180W 接點輸入/輸出 REMOTE（D-sub 15針公頭）4個數(shù)字輸入/輸出點 ，1個模擬輸出點串行通訊 RS-485（D-sub 15 針公頭 ，與 REMOTE 共用）LED顯示屏 電源、正常 、報警轉(zhuǎn)變 啟動/停止、重置 可變轉(zhuǎn)速 轉(zhuǎn)速可在泵預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)數(shù)的 25% 至 100% 之間更改（設(shè)置以 0.1% 為增量） 異常檢測 檢測警報和警告 保護操作 顯示警報和警告 標(biāo)準配件 使用說明書（CD-R） 、保護網(wǎng)（僅限 VG 、ICF 。墊圈內(nèi)置 ISO 法蘭） 、
墊圈（進氣口用） 、防塵蓋（進氣口 、排氣口 、連接器用）各 1 個適用標(biāo)準 CE、TUV *1 訂購時請選擇進氣法蘭 。*2 使用兩級輔助泵時 *3 僅當(dāng)使用 ICF 法蘭強制風(fēng)冷時才能進行烘烤 。*四 這是環(huán)境溫度為25℃時的值 。公差隨著環(huán)境溫度的變化而變化。*五 最大進氣口壓力和最大排氣口壓力不能同時滿足 。*6 這是可以連續(xù)排氣的最大入口壓力。 *7 這是當(dāng)來自進氣口的廢氣流量為0sccm時排氣口處可以連續(xù)運行的最大壓力 。*8 這是環(huán)境溫度為 5 至 25°C 時的值。請使用N2氣體25sccm進行氣體吹掃 。*9 這是使用輔助泵60L/min時的值。 *十 這是使用輔助泵120L/min時的值 。*11 如果氣體量較大，請選擇輔助泵 ，使排氣口壓力保持在最大排氣口壓力以下。*12 請勿流動活性氣體、腐蝕性氣體或含 Ga 氣體。請聯(lián)系我們獲取其他信息。 *13 ISO 法蘭類型。基于我們的測量方法 。
