日本 ULVAC 愛發(fā)科 低溫泵壓縮裝置 C10T/C10AT/C15R 壓縮后的氦氣被送至制冷機(jī)
低溫泵
壓縮裝置
C10T
C10AT
C15R
C30VR
C30VRT
C30MVR
C30MVRT
C30PVRT
C30PMVRT
C40R
C10T
需要操作低溫泵 *吸附器更換時(shí)間:24,000小時(shí)
壓縮后的氦氣被送至制冷機(jī),從制冷機(jī)返回的高溫氦氣被冷卻并循環(huán)規(guī)格
電源(ACV×Φ×Hz) 200×3×50
220×3×60功率KW(50/60Hz) 1.5/1.7 冷卻方式水量(L/min)(20℃) 水冷
2質(zhì)量(公斤) 75
*冷卻水進(jìn)/出水口Rc 3/8
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