日本走空運(yùn) ASAHIRIKA 旭理化 ARF-150 置換爐 ARG-13A 使用范圍溫度
置換爐
大型置換爐
ARF-112-4
ARF-150
規(guī)格
型號(hào) | ARG-13A型 |
樣本量 | φ50以內(nèi) |
熔爐數(shù)量 | 1個(gè)[φ52×500mmL] |
使用范圍溫度 | 室溫+100℃~1,100℃ |
最高溫度 | 高達(dá)1,150℃ |
加熱時(shí)間 | 從室溫到1,100℃約30分鐘 |
加熱器 | 1 區(qū)類型,Kanthal 線 |
氣體類型 | 氧氣 、氮?dú)狻鍤?/span> |
設(shè)備電源 | 單相AC200V12A |
*列出的溫度值是空載下的測(cè)量數(shù)據(jù) *列出的溫度值是空載下的測(cè)量數(shù)據(jù)型號(hào) ARF-151-135-Ⅲ型 樣本量 25 個(gè) 4 英寸晶圓:1 次充電 x 爐管尺寸 內(nèi)徑φ135×1400mmL×2種 使用范圍溫度 室溫+100℃~1000℃ 最高溫度 最高1200℃ 浸泡區(qū)長(zhǎng)度 ±5℃ 中心部分350mm 加熱區(qū) φ180 250×350×250mmL 電容 單相AC200V 5.5Kw 型號(hào) ARF-150型 樣本量 3英寸晶圓可能 熔爐數(shù)量 [內(nèi)徑φ93×1] 使用范圍溫度 室溫+100℃~1100℃ 最高溫度 最高1200℃ 加熱時(shí)間 從室溫到1100℃約60分鐘 加熱器 3 區(qū)型,Kanthal 線 石英燃燒管 [內(nèi)徑φ93×1200L] 氣體類型 氧氣