日本廠家 TOFCO 東富科 超聲波流量計(jì) USF500S-G08 數(shù)據(jù)更新周期10ms
2024-11-28 17:51:47
admin
超聲波流量計(jì)
用于測(cè)量半導(dǎo)體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。本體采用了對(duì)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿也有耐性的PFA樹(shù)脂。
USF500S系列
USF500S-G08
、USF500S-G10、USF500S-G15、USF500S-G20
、USF500S-G25、USF500S-GZ08、USF500S-GZ10
、USF500S-GZ15、USF500S-GZ20、USF500S-GZ25USF500SL-G08
、USF500SL-G10、USF500SL-G15、USF500SL-G20
、USF500SL-G25、USF500SL-GZ08、USF500SL-GZ10
、USF500SL-GZ15、USF500SL-GZ20、USF500SL-GZ25特點(diǎn)
搭載DSP功能
,提高穩(wěn)定性、響應(yīng)性、耐氣泡性用拆裝式電纜容易進(jìn)行布線作業(yè)
可支持高溫流體(Max.200℃
,高溫規(guī)格)多通信(最多可連接31臺(tái))
性能
流體:純水,漿液
,藥液(IPA,H姶O姶,H姶SO?,H?PO?,HF,HCl,O?,NH?等)測(cè)量頻道數(shù):1頻道
數(shù)據(jù)更新周期:10ms
測(cè)量輸出:4-20mA
●分辨率:12bit(約1/4000步)
●最大負(fù)載電阻:600Ω
●輸出端口:輸出端口:1系統(tǒng)
根據(jù)瞬時(shí)流量值、累計(jì)值選擇
●瞬時(shí)流量范圍:與上述測(cè)定流量范圍相同
●累計(jì)流量范圍:上限設(shè)定(20mA)可任意設(shè)定
G08/G10:~32.00L(設(shè)定步驟0.001L)
G15/G20/G25HK:~320.00L(設(shè)定步驟0.01L
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