日本 SIGMAKOKI 壓電驅(qū)動(dòng)電機(jī)( VPDM-ACT ) VPDM-6.5ACT /VPDM-13ACT /VPDM-6.5ACTR /VPDM-13ACTR 前端形狀R型
支持真空的壓電驅(qū)動(dòng)電機(jī)( VPDM-ACT )
可在高真空試驗(yàn)箱的裝置內(nèi)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作的高分辨率小型執(zhí)行元件。 與千分尺有安裝互換性。
VPDM-ACT規(guī)格
產(chǎn)品編號(hào) | 前端形狀 | 移動(dòng)量 | 最小移動(dòng)量 | 推力 | 最大移動(dòng)速度 | 質(zhì)量 |
扁平型 | 6.5mm以上(最大13mm ) | 30nm以下 | 13N | 1.5mm/min | 0.02kg公斤 | |
扁平型 | 13mm以上(最大18mm ) | 20nm以下 | 29.4N | 1.5mm/min | 0.05kg公斤 | |
r型 | 6.5mm以上(最大13mm ) | 30nm以下 | 13N | 1.5mm/min | 0.02kg公斤 | |
r型 | 13mm以上(最大18mm ) | 20nm以下 | 29.4N | 1.5mm/min | 0.05kg公斤 |
支持真空的壓電驅(qū)動(dòng)電機(jī)/ VPDM-6.5ACTR
可在高真空試驗(yàn)箱的裝置內(nèi)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作的高分辨率小型執(zhí)行元件。 與千分尺有安裝互換性。
詳細(xì)
備有φ9.5mm的標(biāo)準(zhǔn)型和φ6mm的小型兩種安裝柄直徑。
備有執(zhí)行器前端為平面的類型( VPDM-**ACT )和球體的類型( VPDM-**ACTR )。
其他信息
目錄代碼W8023
RoHS Yes
CE Yes
CAD數(shù)據(jù) DXF、STP、IGES、SAT
向?qū)?/span>
?動(dòng)作時(shí),請(qǐng)使用壓電驅(qū)動(dòng)器專用控制器(PDM-ID-02)。
?從執(zhí)行器引出導(dǎo)線,連接到腔室的端子或?qū)?dǎo)線引出到外部使用。壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)器附帶用于與該導(dǎo)線連接的控制器專用連接電纜(1m)。
注意事項(xiàng)
?為了提高執(zhí)行器主體的追隨性,請(qǐng)?jiān)O(shè)定適當(dāng)?shù)呢?fù)荷(3N以上推薦)。
?由于本產(chǎn)品通過使用壓電元件的慣性驅(qū)動(dòng),所以定位等沒有精度。另外,根據(jù)個(gè)體差異、致動(dòng)器的進(jìn)給方向,速度、最小移動(dòng)量會(huì)產(chǎn)生偏差。請(qǐng)事先諒解。
規(guī)格
前端形狀R型
移動(dòng)量6.5mm以上(最大13mm)
最小移動(dòng)量30nm以下
推力13N
最大移動(dòng)速度1.5mm/min
重量0.02kg
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