日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 油擴(kuò)散泵BW系列 BW-02/BW-04B/BW-06B/BW-10 抑制油蒸氣從油擴(kuò)散泵向吸氣側(cè)的逆流
2024-07-22 15:21:45
admin
油擴(kuò)散泵
BW系列
BW-02
BW-04B
BW-06B
BW-10
BW-14
BW-20
BW-22
BW-36
BW-52
抑制油蒸氣從油擴(kuò)散泵向吸氣側(cè)的逆流
。特性
保護(hù)真空容器內(nèi)不受油擴(kuò)散泵的蒸汽污染。
設(shè)計(jì)盡量減少排氣阻力
。
BW-04B和BW-06B通過(guò)安裝適配器可以進(jìn)一步抑制油蒸氣的逆流量
。
規(guī)格
| 型號(hào) | BW-02 | BW-04B | BW-06B | BW-10 | BW-14 | BW-20 | BW-22 | BW-36 | BW-52 | ||
| 電導(dǎo) [升/秒] | 100 | 940 | 2200 | 3130 | 5000 | 13000 | 14000 | 54000 | 75000 | ||
| 外徑尺寸 [mm] | D | φ120 | φ149 | φ199 | φ350 | φ450 | φ625 | φ680 | φ1065 | φ1480 | |
| T | 16 | 28 | 28 | 44 | 50 | 152 | 101 | 113 | 165 | ||
| t | 16 | 25 | 25 | 22 | 22 | 24 | 26 | 28 | 35 | ||
| 冷卻水接口（尺寸） | Rc 1/8 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 1/2 | ||
| 冷卻水量 [L/min] | 1.5 | 0.7 | 1 | 2 | 2 | 3 | 3 | 5 | 5 | ||
| 重量[公斤] | 1 | 1.3 | 1.7 | 7.6 | 11 | 22 | 28 | 66 | 200 | ||
