日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵UTM-MS系列 UTM300A-MS/UTM400A-MS/UTM800A-MS/UTM1000A-MS 泵體和控制器是分開(kāi)的
2024-07-22 11:31:11
admin
渦輪分子泵
UTM-MS系列
UTM-MS
UTM300A-MS
UTM400A-MS
UTM800A-MS
UTM1000A-MS
UTM1300A-MS
UTM1500A-MS
UTM2400A-MS
UTM3400A-MS
UTM4300A-MS
新產(chǎn)品
這是帶有使用磁力軸承的獨(dú)立控制器的渦輪分子泵。我們擁有一系列抽速為 300 至 4000L/s 的型號(hào)。控制器部分可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并兼容各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
特征
泵體和控制器是分開(kāi)的，
控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，并兼容各種通信標(biāo)準(zhǔn)
。
自由安裝方向
由于安裝方向沒(méi)有限制，因此設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度增加。
產(chǎn)品陣容包括抽速 300L/s 至 4000L/s
泵轉(zhuǎn)速可在25%至100%范圍內(nèi)變化，腔室壓力可調(diào)節(jié)。
高耐用性和安全性
通過(guò)了各種安全確認(rèn)測(cè)試，包括大氣進(jìn)入測(cè)試和著陸測(cè)試。
目的
各種設(shè)備的真空主排氣系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 氣相沉積設(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等
- 研發(fā)設(shè)備
不產(chǎn)生副反應(yīng)產(chǎn)物的輕工藝主排氣系統(tǒng)
其他一般高真空排氣應(yīng)用
表格1
| 型號(hào) | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進(jìn)氣口 | VG100/ICF152 | VG150/ICF203 | VG200/ICF253 | |||||||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | ||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 排氣速度*2 | N2 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| Ar | 升/秒 | - | ||||||||
| He | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | N2 | 1×10 9 | ||||||||
| He | 8×10 4 | |||||||||
| H2 | 1×10 4 | 4× 103 | ||||||||
| 最大入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大排氣口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 轉(zhuǎn)速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 5分鐘內(nèi) | |||||||||
| 安裝方向 | 可全方位安裝 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - |
| 水壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | |
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | ||||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦輔助泵 | 200L/分鐘以上 | 500L/min以上 | ||||||||
| 控制器 | 配置 | 單獨(dú)放置 | ||||||||
| 輸入功率 | 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 所需最大功率 | kVA | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 變速功能 | 運(yùn)行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之間變化（以 0.1% 增量設(shè)置） | |||||||||
| 外部控制 | 接點(diǎn)輸入/輸出 | |||||||||
| RS-232C/RS-485 | ||||||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示順序 *1：表示順序。。
*2：不含保護(hù)網(wǎng)的值。
*3：最大進(jìn)氣口壓力和最大排氣口壓力條件不能同時(shí)滿足。
表2型號(hào) UTM1300A-MS UTM1500A-MS UTM2400A-MS UTM3400A-MS UTM4300A-MS 進(jìn)氣口 VG200/ICF253 VG250 VG300 / VG350 VG350 排氣口 KF40 冷卻方式 水冷 極限壓力*1 帕 10 -7 排氣速度*2 N2 升/秒 1300 1500 2100 3200 4400 Ar 升/秒 - 2000年 3100 4200 He 升/秒 1050 1200 2240 3100 - H2 升/秒 750 800 1770 2200 2600 壓縮率 N2 6×10 8 1×10 9 He 1×10 4 7×10 4 1×10 5 3×10 4 H2 1×10 3 3×10 3 6× 103 2×10 3 最大入口壓力*3 帕 133 40 最大排氣口壓力*3 帕 270 270 轉(zhuǎn)數(shù) 轉(zhuǎn)速 30300 27000 27600 24000 啟動(dòng)時(shí)間 7分鐘內(nèi) 11分鐘內(nèi) 12分鐘內(nèi) 18分鐘內(nèi) 安裝方向 可全方位安裝 表面處理 鍍鎳 冷卻水 流量 升/分鐘 1～3 2～4 水壓力 兆帕G 02～0.5 噪音 分貝(A) 60 57 60 質(zhì)量 公斤 39 42 70 84 105 推薦輔助泵 600L/min以上 1300L/min以上 1500L/min以上 控制器 配置 單獨(dú)放置 輸入功率 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） 所需最大功率 kVA 1.0 1.5 變速功能 運(yùn)行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之間變化（以 0.1% 增量設(shè)置） 外部控制 接點(diǎn)輸入/輸出 RS-232C/RS-485 質(zhì)量 公斤 8
*2：不含保護(hù)網(wǎng)的值。
*3：最大進(jìn)氣口壓力和最大排氣口壓力條件不能同時(shí)滿足。
，不需要冷卻水" class='page-link text-truncate'>
上一篇
日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 真空泵 DAL-361S 388(寬)×523.6(長(zhǎng))×274(高)[2024-07-19]
日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 真空泵DA系列1段式 DA-81S/DA-81SK 質(zhì)量公斤10.3[2024-07-19]
日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 真空泵RDA系列 RDA-281H/RDA-281HA/RDA-501H/RDA-501HA 質(zhì)量公斤38[2024-07-22]
日本原裝 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 真空泵 VS系列 VS1501 / VS2401 采用水冷和強(qiáng)制潤(rùn)滑系統(tǒng)[2024-07-19]
