日本原裝 ULVAC 愛發(fā)科 真空泵MS系列 MS120A/MS600A/MS1200A 具有較高的耐腐蝕性
螺桿式干真空泵
MS系列
MS系列真空泵屬于螺桿式干式真空泵 特征 目的 蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等 MS系列型號(hào): MS120A MS600A MS1200A *1:典型值規(guī)格
型號(hào) MS120A MS600A MS1200A 最大抽速*1 立方米/小時(shí) 115 560 980 極限壓力 帕 ≤0.6 ≤0.1 電源電壓 三相,50/60Hz,AC200-240V±10%或三相,50/60Hz,AC380-480V±10% 大約功耗*2 千瓦 2.4 3.1 3.1 冷卻水量 升/分鐘 >4.0 吹掃氣體量*1 可持續(xù)發(fā)展管理 0~50 最大水蒸氣處理量
*1*3公斤/小時(shí) 1.5 噪音值*2 分貝(A) 61 62 64 進(jìn)氣口 KF50(臥式) / VG50(立式) ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 質(zhì)量*4 公斤 139 241 264 兼容標(biāo)準(zhǔn) CE、cTUVus 標(biāo)準(zhǔn)配件 快速說明書、電源連接器、防水線夾、信號(hào)連接器、電源連接器護(hù)罩、專用消音器1套 車身選項(xiàng) 電源電壓:200V級(jí)或400V級(jí)
密封材料:氟橡膠(FKM)或全氟橡膠(FFKM)外部選項(xiàng) 底盤排氣口、防震夾具、LR兼容單元(進(jìn)氣口、信號(hào))、吹掃氣閥
*2:極限壓力
*3:使用吹掃氣體時(shí)的最大水蒸氣處理量。
*4: 包括消音器
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